유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 3축 평면운동 스테이지3 axes in-plane motion hollow stage using flexure mechanism
유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 3축 평면운동 스테이지가 개시된다. 중공형 3축 평면운동 스테이지는 시편이 위치되는 시편장착부와 결합하는 최종단, 최종단을 중심으로 바람개비 형상을 이루며 결합되어 평면운동을 하는 구동부 및 내부에 구동부를 포함하고, 최종단과 결합되어 스테이지의 본체를 형성하는 베이스를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-11-23
- Application Date
- 2015-04-01
- Application Number
- 10-2015-0046013
- Registration Date
- 2016-11-23
- Registration Number
- 10-1680784-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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