CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 고성능, 고 분해능, 대면적 및 대면적 확장이 가능한 CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서를 위하여, 반도체 기판, 상기 반도체 기판의 상면 상에 어레이 형태로 배치되며, 광 신호를 감지할 수 있는, 복수개의 픽셀블록(pixel block), 상기 반도체 기판의 하면 상에 각각의 픽셀블록에 대응되도록 배치되며, 아날로그-디지털 변환(ADC) 회로부와 픽셀단위 회로부를 포함하는, 하부대응 회로부 및 상기 반도체 기판을 관통하며, 상기 픽셀블록과 상기 하부대응 회로부를 전기적으로 연결할 수 있는, 도전성 패턴을 포함하는, CMOS기반의 단일칩으로 구현 가능한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 제공한다.