멤즈 가변 커패시터MEMS VARIABLE CAPACITOR
본 발명은 멤즈 가변 커패시터에 관한 것으로서, 제 1전극, 상기 제1 전극과 이격되어 있는 제2 전극, 상기 제1 전극 상부에 플로팅되는 제3 전극, 및 상기 제2 전극과 대향되는 제4 전극, 상기 제3 전극과 상기 제4 전극을 연결하는 연결부, 및 상기 연결부의 일부 영역을 지지하는 지지부를 포함하는 액츄에이터를 포함하고, 상기 제3 전극 및 상기 연결부는 일체로 형성되며, 상기 제2 전극에 전압이 인가되어 상기 제1 전극과 상기 제3 전극 사이의 간격을 조절하여 커패시턴스를 가변시킬 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2014-01-29
- Application Date
- 2012-06-27
- Application Number
- 10-2012-0068856
- Registration Date
- 2014-01-29
- Registration Number
- 10-1359578-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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