전계효과 트랜지스터의 기생 게이트 전계효과를 이용한 바이오 센서 및 그 제조 방법BIO SENSOR USING PARASITIC FRINGING GATE FIELD EFFECTS OF FIELD EFFECTIVE TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEROF

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dc.contributor.author최양규ko
dc.contributor.author김동현ko
dc.contributor.author이광원ko
dc.date.accessioned2017-12-20T00:59:57Z-
dc.date.available2017-12-20T00:59:57Z-
dc.date.issued2010-11-23-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/229048-
dc.description.abstract본 발명은 전계효과 트랜지스터의 기생 게이트 전계효과를 이용한 바이오 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 게이트의 전계 효과 특징을 지니고 있는 전계효과 트랜지스터의 작동원리를 이용한 바이오 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 전계효과 트랜지스터의 기생(fringing) 게이트 전계효과를 이용한 바이오 센서는 기판; 상기 기판에 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인; 상기 채널 영역 상부에 형성된 절연층; 상기 절연층상에 형성되고, 상기 절연층의 일부를 덮는 게이트; 상기 절연층 상부 표면 중 상기 게이트에 의해 덮이지 않은 부분에 링커에 의하여 결합된 바이오 분자를 포함한다.-
dc.title전계효과 트랜지스터의 기생 게이트 전계효과를 이용한 바이오 센서 및 그 제조 방법-
dc.title.alternativeBIO SENSOR USING PARASITIC FRINGING GATE FIELD EFFECTS OF FIELD EFFECTIVE TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEROF-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor최양규-
dc.contributor.nonIdAuthor김동현-
dc.contributor.nonIdAuthor이광원-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2008-0103983-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-0997210-0000-
dc.date.application2008-10-23-
dc.date.registration2010-11-23-
dc.publisher.countryKO-
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