다결정 실리콘의 제조장치에 사용되는 불순물 방지막이있는 금속 심재

Abstract

본 발명은 표면에 불순물 방지막을 갖는 가열수단인 금속 심재에 있어서, 상기 불순물 방지막은 붕소 질화물(boron-nitride) 또는 탄소 질화물(carbon-nitride)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘용 금속 심재에 관한 것이다. 불순물 방지층이 있는 고융점 금속 심재를 사용하게 되면 직접적으로 전기 가열을 하여 다결정 실리콘을 생산할 수 있기 때문에, 기존 실리콘 심재를 사용할 때 필수적으로 요구되는 예열 장치가 필요 없고, 기존 방법보다 경제적으로 다결정 실리콘을 생산할 수가 있다. 고융점 금속 심재를 사용하여 다결정 실리콘을 생산할 경우 금속 심재의 금속 원소들이 생산된 다결정 실리콘으로 고온 확산되는 현상이 불가피하게 일어나게 되는 문제점을 갖게 된다. 그러나, 본 발명에서는 이러한 금속 심재에서 기인하는 오염문제를 해결하고자 금속 심재에 불순물 방지막을 형성시켰으며, 이에 따라서, 금속 심재의 특성은 유지되면서, 금속 심재에 의해 기인되는 오염은 없는 고순도의 다결정 실리콘을 생산할 수 있게 된다.