3차원 미세패턴 형성장치Micro patterning equipment of 3-dimension
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 공홍진 | ko |
| dc.contributor.author | 이신욱 | ko |
| dc.contributor.author | 정병제 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T00:46:47Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T00:46:47Z | - |
| dc.date.issued | 2011-02-28 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/228875 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 3차원 미세패턴 형성장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 컴퓨터 재생을 통한 홀로그래픽 리소그래피를 이용하는 공간광변조기와 이광자 흡수 폴리머화를 이용한 미세패턴 형성시 이광자 흡수를 일으킬수 있는 펨토초레이저를 발생하여 2차원의 미세패턴을 적층하여 3차원의 미세패턴을 형성한다. 따라서, 본 발명의 장치는 리소그래피를 이용한 미세패턴을 형성함에 있어 마스크제작 비용을 절감하고 마스크 오차에 따른 패턴형성 조정 피드백에 대한 공정 시간을 감소시켜 빠른 시간내에 정확한 3차원의 미세 패턴을 형성할 수 있는 효과를 제공한다. | - |
| dc.title | 3차원 미세패턴 형성장치 | - |
| dc.title.alternative | Micro patterning equipment of 3-dimension | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 공홍진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이신욱 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정병제 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2008-0042989 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1020149-0000 | - |
| dc.date.application | 2008-05-08 | - |
| dc.date.registration | 2011-02-28 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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