파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법Compensation method of nonlinear error of interferometer by the angular alignment of a wave plate

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본 발명은 간섭계의 비선형 오차가 최소화되도록 파장판을 재정렬함으로써 비선형 오차를 보상하기 위한 파장판의 각도 정렬을 통한 간섭계의 비선형 오차 보상방법에 관한 것이다. 이를 달성하기 위한 수단으로, 제 1 편광광선분할기를 포함하며 더블패스방식의 간섭부를 통해 입사된 빛을 간섭시켜 주고, 간섭된 빛을 제 2, 3 편광광선분할기 및 반파장판과 사분파장판이 조합된 신호검출부를 통해 간섭신호를 얻는 간섭계의 비선형 오차 보상방법에 있어서, 제 1, 2, 3 편광광선분할기의 광학적 특성을 측정하여 행렬형태로 얻는 제1단계; 반파장판 및 사분파장판의 회전행렬을 구하는 제 2 단계; 제 1, 2, 3 편광광선분할기의 행렬과, 반파장판 및 사분파장판의 회전행렬을 이용하여 비선형오차를 구하는 제 3 단계; 반파장판 및 사분파장판의 각 회전각에 대한 비선형오차로부터 반파장판 및 사분파장판의 최소 각도정렬값을 계산하는 제 4 단계; 및 최소 각도정렬값만큼 반파장판 및 사분파장판을 최소 각도정렬값으로 보상하여 회전시켜 주는 제 5 단계;를 포함하여 이루어진 것이 특징이다. 본 발명에 의하면 비선형 오차 보상을 통해 높은 분해능 및 정확도를 갖는 간섭계 구성이 가능하다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2009-05-12
Application Date
2008-03-26
Application Number
10-2008-0027914
Registration Date
2009-05-12
Registration Number
10-0898327-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228823
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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