본 발명은 마이크로 전자기계 시스템(MEMS; microelectromechnical systems)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 정전 구동기(electrostatic actuator)와 그 구동 방법 및 그 응용 소자에 관한 것이다.본 발명에 따른 정전 구동기는, 주전극, 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 주전극 및 전하충전부와 이격되어 형성된 유동전극을 포함한다.본 발명에 의해 종래의 정전 구동기에 비해 구동전압이 매우 낮고, 구동전압을 임의로 조절할 수 있는 정전 구동기가 제공된다. 또한, 외부 노이즈에 대한 내구성이 강하고 신뢰성 있는 연속 동작이 가능한 정전 구동기가 제공된다.또한, 본 발명에 의해 정전 구동기를 이용한 비휘발성 기계식 메모리, 논리회로 및 스위치가 제공된다.MEMS, 구동기(actuator), 정전 구동, 선충전(Pre charged), 메모리, 스위치