정전 구동기, 그 구동방법 및 이를 이용한 응용소자ELECTROSTATIC ACTUATOR, THE METHOD OF ACTUATING THE SAME AND APPLICABLE DEVICES USING THEREOF

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본 발명은 마이크로 전자기계 시스템(MEMS; microelectromechnical systems)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 정전 구동기(electrostatic actuator)와 그 구동 방법 및 그 응용 소자에 관한 것이다.본 발명에 따른 정전 구동기는, 주전극, 주전극과 전기적으로 절연된 전하충전부, 주전극 및 전하충전부와 이격되어 형성된 유동전극을 포함한다.본 발명에 의해 종래의 정전 구동기에 비해 구동전압이 매우 낮고, 구동전압을 임의로 조절할 수 있는 정전 구동기가 제공된다. 또한, 외부 노이즈에 대한 내구성이 강하고 신뢰성 있는 연속 동작이 가능한 정전 구동기가 제공된다.또한, 본 발명에 의해 정전 구동기를 이용한 비휘발성 기계식 메모리, 논리회로 및 스위치가 제공된다.MEMS, 구동기(actuator), 정전 구동, 선충전(Pre charged), 메모리, 스위치
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2009-01-30
Application Date
2007-06-22
Application Number
10-2007-0061361
Registration Date
2009-01-30
Registration Number
10-0882148-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/228223
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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