음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기 및 이를이용한 타원 해석방법Spectroscopic Ellipsometer using Acoustic-Optic Tunable Filter and Ellipsometry using thereof
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오세백 | ko |
| dc.contributor.author | 유장우 | ko |
| dc.contributor.author | 예상헌 | ko |
| dc.contributor.author | 류성윤 | ko |
| dc.contributor.author | 김수현 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-18T04:43:26Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-18T04:43:26Z | - |
| dc.date.issued | 2008-11-18 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/228192 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기 및 이를 이용한 타원해석방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 여러 파장에서의 편광 특성을 이용하여 다층 박막을 포함한 박막 측정의 정확도를 향상시킬 수 있는 분광타원해석기 및 그 타원해석방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 타원해석기는 광원으로부터 출사되는 단색광이 편광되어 시편부에서 반사된 후, 음향광학변조필터를 통과하면서 분광 및 편광된 후 2개의 회절광의 혼선오차를 측정하여 보상하는 방법으로 시편의 두께와 굴절률을 정밀하게 계산하는 것을 특징으로 한다. | - |
| dc.title | 음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기 및 이를이용한 타원 해석방법 | - |
| dc.title.alternative | Spectroscopic Ellipsometer using Acoustic-Optic Tunable Filter and Ellipsometry using thereof | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김수현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오세백 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유장우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 예상헌 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 류성윤 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2007-0049409 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0870132-0000 | - |
| dc.date.application | 2007-05-21 | - |
| dc.date.registration | 2008-11-18 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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