폴리머 패턴을 몰드로 사용하여 제작한 마이크로 셔터디바이스, 폴리머 패턴을 몰드로 사용하여 마이크로 셔터디바이스를 제작하는 방법

Abstract

본 발명은 폴리머 패턴을 몰드로 사용하여 제작한 마이크로 셔터 디바이스, 폴리머 패턴을 몰드로 사용하여 마이크로 셔터 디바이스를 제작하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정전기력을 이용하여 마이크로 셔터에 전압을 인가하면 외부 광원에서 나온 빛을 반사시키고 전압을 인가하지 않을 때에는 빛을 투과시키는 원리를 응용한 폴리머 패턴을 몰드로 사용하여 제작한 마이크로 셔터 디바이스, 폴리머 패턴을 몰드로 사용하여 마이크로 셔터 디바이스를 제작하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 종래의 열 공정을 이용한 형성방법을 사용하지 않고 단일 물질을 사용하여 초기 모양을 고정을 할 수 있어서 내부 스트레스가 없는 둥근 형상을 가지는 다양한 폴리머 패턴을 이용하여 롤 형태로 말린 구조 또는 만곡 구조를 갖는 마이크로 렌즈가 접목된 마이크로 셔터 디바이스를 제작할 수 있는 효과가 있다.