폴리머 패턴, 금속 스탬퍼 및 마이크로렌즈 어레이 형성방법METHOD FOR FORMING POLYMER PATTERN, METAL STAMPER,MICRO LENS ARRAY
본 발명은 마이크로렌즈 어레이의 형성방법 등에 관한 것이다.이러한 본 발명에 따른 마이크로렌즈 어레이 형성방법은 임의의 방향으로 진행하는 광을 마스크를 통하여 양성 감광성 폴리머 막에 조사하는 단계와, 상기 마스크를 제거하고, 평행한 방향으로 진행하는 광을 상기 양성 감광성 폴리머 막에 조사하는 단계와, 상기 양성 감광성 폴리머 막을 현상하여 폴리머 패턴을 형성하는 단계 및 상기 폴리머 패턴을 마이크로렌즈 어레이 형성용 제1 고분자물질에 전사하는 단계를 포함한다.이러한 본 발명에 따르면, 실질적으로 2차 포물선 모양의 단면과 다양한 종횡비를 갖는 마이크로렌즈 어레이를 형성할 수 있는 등의 효과가 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2008-01-18
- Application Date
- 2006-08-04
- Application Number
- 10-2006-0073854
- Registration Date
- 2008-01-18
- Registration Number
- 10-0797778-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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