폴리머 패턴 형성방법 및 이를 이용한 금속 박막 패턴,금속 패턴, 마이크로셔터, 마이크로렌즈 어레이 스탬퍼,플라스틱 몰드의 형성방법

Abstract

폴리머 패턴 형성방법 및 이를 이용한 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드의 형성방법 등에 관한 것이다.이러한 본 발명의 폴리머 패턴 형성방법은 투명기판의 일면 상에 불투명한 마스크 패턴을 형성하는 단계와, 상기 불투명한 마스크 패턴을 매립하도록 상기 투명기판의 일면 상에 감광성의 폴리머 막을 형성하는 단계 및 임의의 방향으로 진행하는 광을 상기 투명기판의 타면에 조사하여 상기 감광성의 폴리머 막을 노광하는 단계를 포함한다.이러한 본 발명에 따르면, 대면적에 균일한 모양의 폴리머 패턴을 형성할 수 있고, 이것을 이용하여 균일한 특성을 가지는 마이크로 셔터를 제작할 수 있는 등의 효과가 있다.폴리머 패턴, 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드, 디퓨저, 마이크로셔터(microshutter), 마이크로렌즈 어레이 스탬퍼(microlens array stamper), 마이크로렌즈 어레이(microlens array)