가스 폭발로 인한 압력차를 이용한 초소형 흡입기Micro-aspirator using pressure difference driven by gasexplosion

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본 발명은 흡입기에 관한 것으로, 보다 구체적으로 MEMS 공정을 이용하여 초소형으로 제작될 수 있으며 수소 폭발로 인해 외부 대기와의 압력 차이로 탐지 가능한 양의 외부 대기를 흡입할 수 있는 초소형 흡입기에 관한 것이다.본 발명에 따른 초소형 흡입기 및 그의 제작 방법은 독립적으로 수소를 발생하고 상기 발생한 수소의 폭발을 통해 발생하는 음압을 이용하여 외부의 대기를 흡입함으로써, 간단하게 대기 오염의 측정에 사용되는 대기를 흡입할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2008-02-04
Application Date
2006-04-05
Application Number
10-2006-0031100
Registration Date
2008-02-04
Registration Number
10-0803047-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/227901
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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