트렌스듀서와 이를 이용한 응용 소자 및 그 제조 방법TRANSDUCER AND VARIOUS APPLICABLE DEVICE USING THEREOFAND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF

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본 발명은 트렌스듀서(transducer)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 트렌스듀서와 이를 이용한 응용 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 트렌스듀서는 기판, 기판 상에 이격되어 형성되는 제1 및 제2 도전층, 제1 및 제2 도전층 상에 소정의 간격으로 이격되고, 전기적으로 플로팅(floating)되는 흡수체 및 흡수체를 지지하고, 간격을 조절하는 구동부를 포함한다. 본 발명은 구동부와 신호부를 분리함으로써, 트렌스듀서 및 이를 이용한 응용 소자의 기판과 흡수체를 열적으로 격리시킬 수 있고, 필 펙터를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.트렌스듀서(transducer), 적외선 디텍터, 가변 커패시터, 바이머티리얼(bimaterial)
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2008-02-14
Application Date
2006-08-21
Application Number
10-2006-0078936
Registration Date
2008-02-14
Registration Number
10-0805756-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/227848
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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