트렌스듀서와 이를 이용한 응용 소자 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 트렌스듀서(transducer)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 트렌스듀서와 이를 이용한 응용 소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 트렌스듀서는 기판, 기판 상에 이격되어 형성되는 제1 및 제2 도전층, 제1 및 제2 도전층 상에 소정의 간격으로 이격되고, 전기적으로 플로팅(floating)되는 흡수체 및 흡수체를 지지하고, 간격을 조절하는 구동부를 포함한다. 본 발명은 구동부와 신호부를 분리함으로써, 트렌스듀서 및 이를 이용한 응용 소자의 기판과 흡수체를 열적으로 격리시킬 수 있고, 필 펙터를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.트렌스듀서(transducer), 적외선 디텍터, 가변 커패시터, 바이머티리얼(bimaterial)