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실리콘 에피택시 층을 적용한 고품질의 다결정 실리콘박막의 제조방법 및 다결정 실리콘 박막을 포함하는전자소자 안병태; 이승렬, 2007-12-11 | |
알루미늄 할로겐 화합물과 이종 금속 화합물의 혼합분위기를 이용한 다결정 규소박막의 제조방법 안병태, 2006-05-02 | |
코발트-질소 박막을 이용한 코발트 다이실리사이드에피층의 형성방법 안병태, 2006-05-02 | |
알루미늄 화합물 분위기를 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법 안병태, 2002-11-08 | |
실리사이드 에피택시층을 이용한 고품위 실리콘 박막의전이방법 안병태, 2006-04-04 | |
Method for fabricating epitaxial cobalt-disilicide layers using cobalt-nitride thin film 안병태, 2006-09-12 | |
투명전극을 게이트로 사용하여 금속 실리사이드가 코팅된실리콘 팁 어레이 제조방법 안병태, 2002-09-09 | |
금속 실리사이드와 금속 질화물 이중층으로 코팅된 실리콘팁의 제조방법 안병태, 2002-05-04 | |
금속내부에 고용된 규소를 이용한 다결정 규소박막의제조방법 및 동 방법에의한 다결정 규소박막 안병태, 2002-07-04 | |
황화카드뮴 막의 제조방법 및 장치 안병태, 2003-02-05 |