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| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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| 중첩계측오차를 보정하기 위한 계측시스템 및 이를 이용한계측방법(Measuring system for correcting overlay measurement error and method of measurement using the system) 이문상; 염봉진; 김홍석; 김관우; 김승현; 박찬훈, 2008-03-20 |