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1
증발형 증착 장치 및 증착 방법

장홍영; 배인식, 2013-10-22

2
플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법

장홍영; 황태영, 2012-08-08

3
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 축전 결합 플라즈마 발생 방법

장홍영; 이헌수, 2011-12-06

4
기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 예비 전극 구조체, 측정 전극 구조체, 및 공정 전극 구조체

장홍영; 이헌수, 2011-12-06

5
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30

6
플라즈마 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 이진원, 2013-03-15

7
플라즈마 발생 장치

장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27

8
축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20

9
헬리콘 플라즈마 장치

장홍영; 안상혁, 2012-05-23

10
플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치

장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09

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