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| NO | Title, Author(s) (Publication Title, Volume Issue, Page, Issue Date) |
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| 낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 | |
| 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30 | |
| 이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 | |
| 플라즈마 발생 장치 장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27 | |
| 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09 | |
| 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-07-31 | |
| 축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 | |
| 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19 |
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Type
- 15 Patent