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2-축 가속도 센서 및 그 제조방법(2-axis accelerometer and fabricating method thereof) 이춘섭; 이재덕; 한철희 |
2차원 노즐배치를 갖는 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 이재덕; 한철희; 이춘섭; 천기철 |
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법 김충기; 한철희; 이정렬; 오길환, 2005-02-10 |
다결정 실리콘 박막을 이용한 EEPROM 및 플래시메모리와 그 제조방법 한철희; 이내인; 허성회; 이진우 |
다결정실리콘박막트랜지스터의제조방법 한철희; 김충기; 이정렬; 오길환 |
미소 구동기 제조방법 이춘섭; 이재덕; 황치호; 한철희 |
바이어스방법에의해형성된두께가매우얇고균일한단결정실리콘박막을갖는에스-오-아이웨이퍼의제조방법및 이호준; 김충기; 한철희, 1998-10-10 |
반도체 기판 위에 높이 떠 있는 3차원 금속 소자, 그 회로모델, 및 그 제조방법 윤준보; 윤의식; 김충기; 한철희, 2003-01-08 |
발열장치 제조방법 및 열분사방식 잉크젯 프린트헤드제조방법 이춘섭; 이재덕; 한철희 |
비휘발성 정적 기억소자 허성회; 한철희 |
실리콘웨이퍼에서의부정합전위의발생을억제화하기위한링패턴형성방법및그구조 김충기; 한철희; 이호준 |
액정표시기용 디지털 구동회로 한철희; 정훈주; 이승우 |
자외선램프가장착된유도결합플라즈마구리식각장치 허성회; 최강식; 한철희 |
전기 화학적 식각방법을 이용하는 SOI형 반도체소자및이를이용한능동구동액정표시장치의제조방법 한철희; 이희덕; 김재관 |
전기화학적 식각방법을 이용한 SOI형 소자의 제조방법 한철희; 이희덕; 김재관 |
절연체로 N2O 플라즈마 산화막을 이용한 EEPROM 및 플래시 메모리와 그 제조방법 한철희; 이내인; 허성회; 이진우 |
초소형 굴절 실리콘 렌즈 제조방법 이춘섭; 한철희 |
화학 기계적 연마를 이용한 미세간격 형성방법 및 측면형전계방출소자 제조방법 이춘섭; 이재덕; 한철희 |
화학적 기계적 연마 방법을 이용한 측면형 전계 방출소자의 제조방법 이춘섭; 이재덕; 한철희 |
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