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반사형 회절 격자 표식을 이용한 6자유도 변위 측정 시스템 = Six degrees of freedom displacement measurement system using a diffraction grating as a cooperative targetlink 김종안; Kim, Jong-Ahn; et al, 한국과학기술원, 2001 |
초정밀 작업을 위한 6자유도 마이크로 스테이지의 개발 = Development of 6 degrees-of-freedom micro stage for ultraprecision positioninglink 김경찬; Kim, Kyeong-Chan; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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