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| Analysis of fluorine effects on TANOS (TiN-$Al_2O_3$-$Si_3N_4$-$SiO_2$-polysilicon) memory devices for 3D NAND Flash = 3차원 낸드 플래시를 위한 타노스 메모리 소자에서의 플루오린 영향 분석link Lee, Tae Yoon; Cho, Byung Jin; et al, 한국과학기술원, 2019 |
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