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표면 전도도를 이용한 금속산화막반도체 전계효과 트랜지스터 습도센서

송석호; 양현호; 한창훈; 고승덕; 이석희; 윤준보, 제14회 한국MEMS학술대회, pp.457 - 458, 한국MEMS학술대회, 2012-04-05

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