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팔라듐 나노구조 형상에 따른 크랙 발생 경향과 수소 감지 성능 비교

이재신; 최광욱; 서민호; 유재영; 조민승; 윤준보, 제19회 한국MEMS학술대회, 마이크로나노시스템학회, 2017-03-31

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