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Development of MEMS fabrication for transparent and flexible capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) = 투명하고 유연한 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 (CMUT)의 MEMS 공정 개발link Kang, ByungBum; Lee, Hyunjoo Jenny; et al, 한국과학기술원, 2020 |
다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법 이현주; 이상목; 강병범; 윤성원 |
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