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DUV lithography 위상 변위 마스크용 Zr, Hf oxide 의 전자 상태 및 천이 상태 연구

노광수researcher; 김성관; 김양수; 허성민; 최성운; 손정민, 한국재료학회 추계학술대회, v.0, no.0, pp.0 - 0, 한국재료학회, 2003-11-01

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