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RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제작한 MGZO 박막의 구조적 및 전기적, 광학적 특성에 미치는 스퍼터링 전력의 영향

김진혁; 김인영; 신승욱; 김민성; 윤재호; 허기석; 정채환; et al, 한국재료학회지, v.23, no.3, pp.155 - 160, 2013-03

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