Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Author 이응직
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| ECR 플라즈마를 이용한 $RuO_2$ 박막의 건식 식각특성에 관한 연구 = A study on the dry etching characteristics of $RuO_2$ thin film in electron cyclotron resonance plasmalink 이응직; Lee, Eung-Jik; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성비교 이원종; 전병혁; 김종석; 이응직; 백종태; 강상원, 한국요업학회 추계학술연구발표회 1994, pp.0 - 0, 1994-01-01 |
| O2/CF4 ECR 플라즈마를 이용한 RuO2박막의 건식식각 기구 연구 이원종; 이응직; 김종삼, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1996-01-01 |
| RF-PECVD법과 ECR-PECVD 법에 의해 증착된 TiN박막의 물성비교 연구 이원종; 김종석; 전병혁; 이응직, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1995-01-01 |
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- 6,675 2010 - 2019
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