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ECR-PEMOCVD법으로 제조한 $SrTiO_3$ 박막의 단차 피복성에 관한 연구 = A study on the step coverage of $SrTiO_3$ thin films fabricated using ECR-PEMOCVDlink 박순연; Park, Soon-Yon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
ECR-PEMOCVD법으로 증착한 SrTiO3 박막에 Ar carrier gas의 flow rate가 미치는 영향 노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 추계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01 |
ECR-PEMOCVD법을 이용한 ST thin film 증착시 Ti single source의 제어 노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 춘계학술발표, 한국요업학회, 1999-01-01 |
Fabrication and Characterization of BaxSr1-xTiO3/YBa2Cu3Ox/STO Structure 노광수; 최종완; 김은아; 박순연; 김유진, 한국요업학회 춘계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01 |
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