Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Author 라사균

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C-V 측정에 의한 Cu 확산방지막 특성 평가

이승윤; 라사균; 이원준; 김동원; 박종욱, 한국진공학회지, v.5, no.4, pp.333 - 340, 1996-12

2
Cu/TiN/Ti/Si 다층막의 열처리에 관한 연구 = A study on the annealing of the Cu/TiN/Ti/Si Multilayerlink

라사균; Rha, Sa-Kyun; 박종욱; 천성순; et al, 한국과학기술원, 1997

3
열처리에 따른 CVD Cu 박막의 미세구조 및 전기 비저항의 변화

이원준; 민재식; 라사균; 이영종; 김우식; 강동원; 박종욱, 한국진공학회지, v.4, no.2, pp.164 - 171, 1995-01

4
차세대 반도체 소자의 배선을 위한 구리박막의 reflow

김동원; 김갑중; 권인호; 이승윤; 라사균; 박종욱, 한국진공학회지, v.6, no.3, pp.206 - 212, 1997-01

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