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0.25 ㎛ 리소그라피 공정에서 무반사층의 응용 노광수; 배병수; 전병혁; 한상수; Jiang, ZT; 김용범; 김동완; et al, 광학 및 양자전자 학술 발표회, 1996-01-01 |
Antireflective coating of flourinated silicon nitride for KrF excimer laser lithography 노광수; 배병수; 전병혁; 한상수; 이준성; 김용범; 강호영; et al, 제 4회 한국 반도체 학술대회, 한국 반도체 학술대회, 1997 |
Synthesis of tunable Pt-Ni nanocatalyst through heterogeneous doping method = 이종 도핑 방법을 이용한 제어 가능한 Pt-Ni 나노 촉매의 형성link Kim, Yong Beom; Jung, WooChul; et al, 한국과학기술원, 2022 |
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