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(A) study on the ruthenium thin films formed by atomic layer deposition (ALD) = ALD 증착법으로 형성된 ruthenium 박막의 특성에 관한 연구link Kwon, Oh-Kyum; 권오겸; et al, 한국과학기술원, 2004 |
(The) effect of $H_2$ plasma treatment on the film growth rate in catalytic-enhanced Cu CVD = 촉매를 이용한 Cu CVD의 증착속도에 대한 수소 플라즈마의 효과 연구link Kwon, Oh-Kyum; 권오겸; et al, 한국과학기술원, 2001 |
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