Browse "Dept. of Materials Science and Engineering(신소재공학과)" by Author 강민성

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1
PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발

최치규; 강민성; 박형호; 염병렬; 서경수; 이종덕; 김건호; et al, 한국진공학회지, v.6, no.3, pp.255 - 262, 1997-12

2
고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성

최치규; 강민성; 오경숙; 이유성; 오대현; 황찬용; 손종원; et al, 한국재료학회지, v.9, no.11, pp.1129 - 1136, 1999-12

3
고상 에피택셜 성장에 의한 PtSi 박막의 형성

최치규; 강민성; 이개명; 김상기; 서경수; 이정용; 김건호, 한국진공학회지, v.4, no.3, pp.319 - 326, 1995-12

4
고상 에피택시에 의한 초박막 CoSi2 형성과 Si/epi-CoSi2/Si(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장

최치규; 강민성; 문종; 현동걸; 김건호; 이정용, 한국재료학회지, v.8, no.2, pp.165 - 172, 1998-12

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