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Phase shift effect of relief structured phase masks in proximity field nanopatterning = 근접장 나노패터닝에서 위상차 구조를 갖는 마스크의 단차변화 효과link Kim, Eun-Hye; 김은혜; et al, 한국과학기술원, 2012 |
Phase Shift Optics for 3D Nanopatterning 현가담; 박준용; 안창의; 김은혜; 김대철; Jeon, Seokwoo, MNC 2013 (26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference), MNC, 2013-11-07 |
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