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ECR-PEMOCVD법으로 제조한 $SrTiO_3$ 박막의 단차 피복성에 관한 연구 = A study on the step coverage of $SrTiO_3$ thin films fabricated using ECR-PEMOCVDlink 박순연; Park, Soon-Yon; et al, 한국과학기술원, 2000 |
ECR-PEMOCVD법을 이용한 $SrTiO_3$박막과 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 제조 및 특성분석 = Fabrication and characterization of $SrTiO_3$ and $BaSrTiO_3$ thin films using ECR-PEMOCVDlink 이준성; Lee, Joon-Sung; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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