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ECR PECVD 법으로 제조된 AIN 박막의 C축 배향성에 관한 연구 = Preparation of C-axis oriented AIN thin films by ECR PECVD methodlink 장성수; Jang, Seong-Soo; et al, 한국과학기술원, 1995 |
$H_2/Ar/TiCl_4$ 및 $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ 유도결합 플라즈마 CVD 법에 의한 Ti 및 TiN 박막의 증착 특성 연구 = Investigation of the $H_2/Ar/TiCl_4$ and $N_2/H_2/Ar/TiCl_4$ inductively coupled plasma enhanced CVD system for the deposition of Ti and TiN filmslink 장성수; Jang, Seong-Soo; et al, 한국과학기술원, 2001 |
Plasma Activated Evaporation 방법에 의해 증착된 Copper Phthalocyanine 박막의 NOx 농도측정에 관한 연구 이원종; 최창구; 장성수, 한국재료학회 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
질량분석기와 랑뮈어 탐침을 이용한 ICP 플라즈마 시스템의 분석 이원종; 장성수, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01 |
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