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Cantilever set, detection device, method of analyzing surface and method of forming micropattern 김상욱; 이경미; 박정주; 권승철; 김은성; 이시용; 최영주 |
Method of forming fine patterns using a block copolymer 김상욱; 김경택; 김현우; 이시용; 최성운, 2013-03-19 |
PHASE SHIFT DEVICE INCLUDING METAL-DIELECTRIC COMPOSITE STRUCTURE Shin, Jonghwa; Kim, Reehyang; Lee, Jeongyub; Yang, Kiyeon; Kim, Yongsung; Kim, Jaekwan; Lee, Changseung; et al |
블록 공중합체의 자기조립 구조를 이용한 패턴형성과 이를 통한 반도체 미세구조의 자동적 패턴밀도 증가 방법 김상욱; 김경택; 김현우; 이시용; 최성운, 2013-10-11 |
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