금속 구조물에 적용 가능한 박막형 다결정 실리콘 게이지의 성능평가 및 모델링

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Publisher
한국반도체학술대회
Issue Date
2010-02-24
Language
KOR
Citation

제17회 한국반도체 학술대회 (KCS 2010), pp.159 - 159

URI
http://hdl.handle.net/10203/168020
Appears in Collection
AE-Conference Papers(학술회의논문)
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