집중 질량의 증가에 따른 원형 진동판의 고유 징동수 감소와 그에 따른 마이크로폰의 감도 증가에 관한 연구

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Issue Date
2008-04
Language
KOR
Citation

제10회 한국 MEMS 학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/157817
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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