위상천이 회절격자 간섭계Phase-shifting Diffraction-grating Interferometer

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렌즈와 거울의 형상을 정밀하게 측정하고 평가하는 광학시험에 많은 형태의 광간섭계가 개발되고 사용되어왔다. 그 중, 회절격자를 광선분할기로 사용하는 광간섭계들을 통칭하여 회절격자 간섭계라 부른다. 회절격자 간섭계는 별개의 광학표면을 사용하지 않고 회절격자에서 회절된 파면을 직접 기준파면으로 사용할 수 있으므로, 격자의 형태, 주기를 선정하여 기준파면과 측정파면을 원하는 방향으로 재생하여 다양한 형태의 간섭계를 만들 수 있다.
Publisher
한국광학회
Issue Date
2003-07-15
Language
KOR
Citation

한국광학회 2003년도 하계학술발표회 , pp.148 - 149

URI
http://hdl.handle.net/10203/152449
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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