DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 강동균 | - |
dc.contributor.author | 권대갑 | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-18T20:38:57Z | - |
dc.date.available | 2013-03-18T20:38:57Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 2006 | - |
dc.identifier.citation | 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표, v., no., pp.1 - 4 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/152242 | - |
dc.description.abstract | 공초점 자가 간섭 현미경은 측정 광학계에 복굴절 물질을 사용하여 반사된 빛에 대해 간섭 현상을 일으키는 것을 특징으로 한다. 이 간섭을 자가 간섭이라고 부르는데, 이는 시편의 한 점에서 반사되어 나온 빛이 간섭을 일으키기 때문에 붙여진 이름이다. 공초점 자가 간섭 현미경의 점 확산 함수는 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수와 자가 간섭의 곱으로 나타나며, 자가 간섭의 주기가 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수의 중심폭보다 작은 경우 점 확산 함수의 중심폭이 작아져서 수평 방향으로의 분해능이 향상되게 된다. 이러한 분해능 향상 정도를 측정하기 위하여 지름이 100nm 인 금으로 된 비드를 사용하였다. 측정된 결과는 전산모사한 결과와 잘 일치하며 공초점 자가 간섭 현미경에서 2배의 분해능 향상을 보여준다. | - |
dc.language | KOR | - |
dc.publisher | 한국반도체및디스플레이장비학회 | - |
dc.title | 공초점 자가 간섭 현미경을 이용한 분해능 향상 | - |
dc.type | Conference | - |
dc.type.rims | CONF | - |
dc.citation.beginningpage | 1 | - |
dc.citation.endingpage | 4 | - |
dc.citation.publicationname | 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 강동균 | - |
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