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Browse "Dept. of Industrial and Systems Engineering(산업및시스템공학과)" by Subject 클러스터 장비▼a복수 웨이퍼 타입▼a스케줄링▼a혼류생산▼a병렬챔버▼a워크로드 균형▼a시간제약

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Scheduling cluster tools for concurrent processing of multiple wafer types with identical job flows = 동일한 작업 흐름을 갖는 복수 웨이퍼 타입의 혼류 생산을 위한 클러스터 장비 스케줄링link

Ko, Sung-Gil; Lee, Tae-Eog; et al, 한국과학기술원, 2018

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