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병렬 챔버간 이송시간이 다른 양팔 클러스터 장비의 주기적 스케줄링 = Cyclic scheduling of dual-armed cluster tools with different wafer transport times between parallel chamberslink 김대규; Kim, Dae-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2009 |
병렬 챔버간 이송시간이 다른 한팔 클러스터 장비의 주기적 스케줄링 = Cyclic scheduling of single-armed cluster tools with different wafer transport times between parallel chamberslink 정유주; Jung, Yu-Ju; et al, 한국과학기술원, 2009 |
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