정전기력을 이용한 미소기전 구동기의 고유치 변화 해석에 관한 연구

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Issue Date
2001
Language
KOR
Citation

2001년도 대한기계학회 춘계학술대회, pp.854 - 859

URI
http://hdl.handle.net/10203/138409
Appears in Collection
ME-Conference Papers(학술회의논문)
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