알루미나 표면에서의 poly(acrylic aicd) 흡착 특성과 pH가 알루미나 분산액의 안정성에 미치는 영향Adsorption Characteristics of Poly(acrylic acid) on alumina and the effect of pH on the suspension stability

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dc.contributor.author전상준-
dc.contributor.author홍원희-
dc.date.accessioned2013-03-16T23:42:50Z-
dc.date.available2013-03-16T23:42:50Z-
dc.date.created2012-02-06-
dc.date.issued2001-11-01-
dc.identifier.citation한국화학공학회 추계학술발표회, v., no., pp.0 - 0-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/137392-
dc.description.abstract금속 CMP 공정에서 쓰이는 알루미나 슬러리의 안정성은 CMP 공정의 효율에 영향을 끼친다. 따라서 이 슬러리의 안정화가 필수적이며, 이를 위해 본 연구에서는 polyacrylic acid를 알루미나 표면에 흡착시킴으로써 입자를 안정화시키는 연구를 하였다. 또한, 고분자 흡착에 있어서 pH가 흡착 거동에 미치는 영향과 안정화에 미치는 영향에 대해서도 고찰하였다.-
dc.languageKOR-
dc.publisher한국화학공학회-
dc.title알루미나 표면에서의 poly(acrylic aicd) 흡착 특성과 pH가 알루미나 분산액의 안정성에 미치는 영향-
dc.title.alternativeAdsorption Characteristics of Poly(acrylic acid) on alumina and the effect of pH on the suspension stability-
dc.typeConference-
dc.type.rimsCONF-
dc.citation.beginningpage0-
dc.citation.endingpage0-
dc.citation.publicationname한국화학공학회 추계학술발표회-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.identifier.conferencecountrySouth Korea-
dc.contributor.localauthor홍원희-
dc.contributor.nonIdAuthor전상준-
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CBE-Conference Papers(학술회의논문)
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