Browse "Dept. of Mechanical Engineering(기계공학과)" by Subject 레이저 간섭계
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| 간섭 무늬 최대점 이동량의 감지를 이용한 초정밀 변위 측정 시스템 = High precision displacement measuring system using the detection of fringe peak movementlink 이종훈; Yi, Jong-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2001 |
| 간섭원리를 이용한 이송축의 진직 운동 정확도 측정 = Measurement of moving accuracy of a precision machine axis with laser interferometrylink 임노빈; Yim, Noh-Bin; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 광/엑스선 복합간섭 고분해능 레이저 간섭계의 개발 = A high resolution laser interferometer for combined optical x-ray interferometrylink 김민석; Kim, Min-Seok; et al, 한국과학기술원, 1998 |
| 레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상 김경호; 김태호; 이후상; 김승우researcher, 한국정밀공학회지, v.22, no.9, pp.69 - 76, 2005-09 |
| 반도체 소자의 선폭 및 피치 측정과 불확도 산정에 관한 연구 = Linewidth and pitch measurement of semiconductor devices and uncertainty estimationlink 고영욱; Ko, Yeoung-Uk; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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