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레이저 간섭계의 진직도 측정오차 보상 김경호; 김태호; 이후상; 김승우, 한국정밀공학회지, v.22, no.9, pp.69 - 76, 2005-09 |
반도체 소자의 선폭 및 피치 측정과 불확도 산정에 관한 연구 = Linewidth and pitch measurement of semiconductor devices and uncertainty estimationlink 고영욱; Ko, Yeoung-Uk; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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