Browse "Dept. of Mechanical Engineering(기계공학과)" bySubjectUltra precision static stage(초정밀 스테이지)

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레이저간섭계의 위치결정정밀도 측정오차 개선

황주호; 박천홍; 이찬홍; 김승우researcher, 한국정밀공학회지, v.21, no.9, pp.167 - 173, 2004-09

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