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밀리구조물의 다자유도 변위 측정 장치 = Multi degrees of freedom displacement measurement system for milli-structurelink 배의원; Bae, Eui-Won; et al, 한국과학기술원, 2001 |
반사형 회절 격자 표식을 이용한 6자유도 변위 측정 시스템 = Six degrees of freedom displacement measurement system using a diffraction grating as a cooperative targetlink 김종안; Kim, Jong-Ahn; et al, 한국과학기술원, 2001 |
위상천이 회절격자 간섭계 = Phase shifting diffraction grating interferometerlink 황태준; Hwang, Tae-Joon; et al, 한국과학기술원, 2003 |
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