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AFM scanner용 초정밀 XYZ 스테이지의 설계, 특성분석 및 제어에 관한 연구 = A precision XYZ-stage for AFM scanner design, analysis and controllink 심종엽; Shim, Jong-Youp; et al, 한국과학기술원, 1998 |
유연기구를 이용한 초정밀 단일체 3축 스테이지의 모델링 및 최적설계에 관한 연구 Shim, Jung Yeop; Gweon, Dae Gab, 대한기계학회논문집A, Vol.22, No.4, pp.868-878, 1998 |
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