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자기부상 스테이지에서의 속도리플 향상을 위한 모델링 개선 및 제어 알고리즘에 관한 연구 = A study on development of modeling and control algorithm to reduce velocity ripple for magnetic levitation stagelink

박세훈; Park, SeHoon; et al, 한국과학기술원, 2015

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